November 1, 2017

Emission uniformity map on 200 mm micro-LED wafer

维易科(VEECO)和ALLOS展示行业领先的200MM硅基氮化镓性能,推动micro-LED的应用

纽约普莱恩维尤(Plainview),2017年11月1日– Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)今日宣布和ALLOS Semiconductors (ALLOS)达成了一项战略举措,展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光micro-LED的生产。维易科和ALLOS合作将其专有外延技术转移到Propel® 单晶圆MOCVD系统,从而在现有的硅生产线上实现生产micro-LED。 “使用Propel反应腔,我们就拥有了一项MOCVD 技术,这项技术能够实现高产量的GaN外延,满足在200毫米硅生产线上生产micro-LED器件的所有要求,” ALLOS Semiconductors的首席执行官Burkhard Slischka这样说。“不到一个月时间我们就已经在Propel上对我们的技术进行了验证,并且获得了无裂纹、无回熔的晶圆,翘曲度低于30微米,晶体质量高,厚度均匀性优异,波长均匀性小于1纳米。同Veeco携手,ALLOS期待着将该技术在micro-LED产业中更为推广。” Micro-LED显示技术由<30×30平方微米的红、绿和蓝(RGB)无机LED组成,这些LED被转化为显示屏背板,以形成亚像素。与有机LED(OLED)和液晶显示(LCD)相比,这些高效的LED直接发射功耗更低,却可以为移动显示器、电视和可穿戴式计算机提供优异的亮度和对比度。Micro-LED的制造要求优质、均匀的外延晶圆,以满足显示屏的产量和成本控制的要求。   “和竞争对手的MOCVD平台相比, Veeco的TurboDisc®技术提供的制程窗口更大,因此Propel能提一流的均匀性同时还能获得优良的膜品质,”维易科高级副总裁兼MOCVD运营总经理Peo Hansson博士这样说。“将Veeco领先的MOCVD专业技术和ALLOS的硅基氮化镓外延晶片技术相结合,使我们客户能够开发出低成本的micro-LED,以便于在新的市场中开拓新的应用。”   关于Veeco Veeco(NASDAQ: VECO)是一家创新半导体工艺设备的领先制造商。我们成熟的MOCVD、光刻、激光退火、离子束和单晶片蚀刻与清洁技术在制造固态照明和显示器LED以及先进半导体器件的制造中起着不可或缺的作用。凭借旨在最大限度地提高性能、产量和拥有成本的设备,维易科在所有这些服务的市场中拥有技术领先地位。要了解更多关于维易科创新设备和服务方面的信息,请访问www.veeco.com。 关于ALLOS Semiconductors

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Emission uniformity map on 200 mm micro-LED wafer

VEECO和ALLOS演示業界領先的200MM GAN-ON-SILICON性能來實現MICRO-LED的應用

Plainview,N.Y.,2017年11月1日 – Veeco Instruments Inc.(Nasdaq:VECO)今天宣布與ALLOS Semiconductors(ALLOS)完成一項戰略措施,以展示200mm 矽基板用於氮化鎵藍/綠光Micro-LED的生產上。 Veeco與ALLOS合作將其專有的磊晶技術轉移到Propel® Single-Wafer MOCVD系統上,以便於現有的矽生產線上實現生產Micro-LED。 “使用Propel反應腔,我們就擁有了一項MOCVD技術來實現高產能的GaN磊晶,可滿足在200mm矽生產線上生產Micro-LED元件的所有要求, “ALLOS半導體公司執行長Burkhard Slischka表示。不到一個月的時間,我們就已經在Propel上建立了我們的技術,並且獲得了無裂紋、無回熔 (meltback-free)的晶圓,其翹曲度低於30 微米,晶體質量高,優異的厚度均勻性與小於1nm的波長均勻性。 和Veeco一起,ALLOS期待將這種技術更廣泛地應用於Micro-LED的產業中。“ Micro-LED顯示技術由< 30×30平方微米的紅色,綠色,藍色(RGB)無機LED所組成,再轉化為顯示器背板以形成子像素。與OLED和LCD相比,這些高效率LED直接發射且耗電量更低,卻可以為移動顯示器,電視機和穿戴式裝置提供卓越的亮度和對比度。Micro-LED的製造需要高質量、均勻的磊晶晶片來滿足顯示器的產量和成本控制的目標。   “與競爭對手的MOCVD平台相比,由於Veeco的TurboDisc® technology提供了更廣泛的製程範圍,因此Propel提供了一流的均勻性同時還能獲得優良的薄膜品質。”Veeco高級副總裁兼MOCVD營運總經理Peo Hansson博士表示。“將Veeco領先的MOCVD專業技術與ALLOS的GaN-on-Silicon的磊晶技術結合在一起,使我們的客戶能夠開發出低成本的Micro-LED,為新的市場中的開拓出新的應用。”    

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